پیام رسان بله
جستجو
بهبود نسبی در پارامترهاي معایب در رسوب گذاري نیترید تیتانیوم(TIN) به روش تبخیر فیزیکی با انرژي لیزر(PLD)
یوسف رحیمی1
چکیده :
چکیده: : امروزه نیاز بشر به موادي به استحکام بالا در صنایع هوافضا، مدارهاي الکتریکی و جراحی ها علم را بر آن داشته
است تا دست به ساخت موادي از هر نظر محکم، مقرون به صرفه زیست سازگار بزند. یک از عناصر با سختی بالا تیتانیوم
(TIN) است. این عنصر در ترکیب با نیتروژن به نیترید تیتانیوم(TIN) تبدیل می شود که از نظر سختی و مقاومت آن از
تیتانیوم بیشتر است. TINبه عنوان فلز پایه در پوشش دهی به کار می رود زیرا چسبندگی خوبی داشته و ایجاد ناکاملی در
ساختار زیر لایه نمی کند. یکی از روش هاي مهم و دقیق براي زیر لایه سازي نیترید تیتانیوم روش تبخیر فیزیکی با استفاده
از انرژي لیزر است.در روش رسوب گذاري بخار فیزیکی با استفاده از انرژي پالس هاي لیزر (PLD) در اثر یونیزاسیون انتهاي
مابین هدف و زیر لایه و همچنین ماده هدف همواره یون هاي مثبت و الکترون ها به وجود می آید.این محیط پلاسمایی به
نام پلام(Plumbe) را به وجود می آورد.این محیط داراي دماي زیاد است.پالم با اینکه باعث تسریع یونش دهی و ضخامت
خوب زیر لایه می گردد، اما بهتر است بدانیم که این تسریع در تناوب پالس هاي لیزري و دماي خیلی زیاد پلام عدم
یکنواختی را در ساختار زیر لایه به وجود می آورد.این پدیده Splashing نام دارد.همانند جوشی زیر پوستی بوده که از
روي پوست ایجاد برآمدگی کرده است.
کلمات کلیدی : رسوب گذاري لیزر نیترید تیتانیوم plumb pld pvd splashing
زبان مقاله : فارسی
محل انتشار : پنجمین کنفرانس بین‌المللی فیزیک ،ریاضی و توسعه علوم پایه
آدرس وب سایت کنفرانس : fmc.bcnf.ir
کد IOI مقاله : XFKA-HEEAG
لینک مستقیم مقاله : https://isnac.ir/XFKA-HEEAG